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开yun体育网其竖立于托架的顶部;介质源-kaiyun体育网页版登录·官方网站
- 发布日期:2025-06-30 05:44 点击次数:188
本站音讯,笔据天眼查APP数据露馅华海清科(688120)新赢得一项发明专利授权,专利名为“一种角落切割晶圆的在位检测安设和在位检测尺度”,专利苦求号为CN202111612428.8,授权日为2024年12月31日。
专利纲目:本发明公开了一种角落切割晶圆的在位检测安设和在位检测尺度,其包括:斜孔,其竖立于托架的顶部;介质源,其通过管路与所述斜孔连通;压力传感器,其竖立于斜孔与介质源之间的管路,以检测管路的压力;适度部,其与压力传感器连结,以笔据所述管路的压力判定晶圆是否在位;其中,所述托架的顶部还设置有与斜孔重复的凹槽,所述凹槽的里面安装有垫板,所述垫板局部装潢斜孔以变成检测孔;若托架上的晶圆在位,则晶圆部分或一皆封堵检测孔以引起管路的压力变化。
本年以来华海清科新赢得专利授权0个。皆集公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面干预了1.71亿元,同比增23.19%。
数据开头:天眼查APP
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